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Analyse: China hat möglicherweise 343 Immersions-Tief-Ultraviolett-Lithographiegeräte auf Lager

ChainCatcher-Nachrichten zufolge sagten ehemalige US-Beamte laut South China Morning Post, dass chinesische Halbleiterfabriken in den letzten Jahren Hunderte von Immersionslithografiemaschinen im Wert von mehreren Milliarden Dollar angehäuft hätten, und forderten Washington und seine Verbündeten auf, weitere Exporte einzustellen. Das im August 2026 gegründete Center for Technology & Statecraft veröffentlichte Ende September einen Bericht, in dem geschätzt wurde, dass chinesische Fabriken bis Anfang 2026 etwa 343 Immersions-Tief-UV-Lithographiesysteme erworben hatten. Der Bericht wurde gemeinsam von Nicholas Brown, einem ehemaligen US-Exportkontrollbeamten, und Saif Khan, einem ehemaligen Technologiepolitikberater des Weißen Hauses und des Handelsministeriums, verfasst.

Berichten zufolge handelt es sich bei etwa 270 dieser Einheiten um ASML Twinscan NXT:1980i. Der Autor sagte, dass diese Geräte zwar hinter Extrem-Ultraviolett-Lithographiemaschinen zurückbleiben, sie jedoch in fortschrittliche Speicher umgewandelt werden können, die für die Herstellung von 7-Nanometer-Logikchips und Prozessoren für künstliche Intelligenz (einschließlich der Ascend-Serie von Huawei) benötigt werden. Chinesische Waferfabriken gaben mehr als 13 Milliarden US-Dollar aus, um im Jahr 2024 etwa 90 NXT:1980i-Einheiten und im Jahr 2025 weitere 89 Einheiten zu kaufen. ASML gab bekannt, dass China im Jahr 2024 nach Versandziel 41 % seines Nettosystemumsatzes und im Jahr 2025 33 % ausmachen wird, was im ersten Quartal 2026 auf 19 % und im zweiten Quartal auf 14 % sinken wird.

Die Niederlande benötigen ab September 2023 Exportlizenzen für NXT:2000i und fortschrittlichere Immersions-Tief-UV-Geräte, und der Versand dieser Modelle nach China ist seitdem faktisch verboten; ein Jahr später wurden die Zulassungsvoraussetzungen auf NXT:1980i ausgeweitet, dieses Modell kann jedoch weiterhin im Einzelfall zum Versand zugelassen werden.

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